株式会社グッドコンピューター
半導体/液晶装置通信制御ソフトウェアのトータルソリューション
HOME 会社概要 採用情報 サイトマップ
事業案内 半導体/液晶制御システム その他 制御システム開発 アプリケーション開発について
半導体パッケージソフト概要
GEM300対応パッケージソフトウエア GEM対応パッケージソフトウエア
GEM300準拠のパッケージソフトウエアで、半導体前工程装置の通信開発に適しています。
 
GEM規格準拠のパッケージソフトウエアで、200mm対応の装置に適しています。
HSMS対応パッケージソフトウエア   SECS 対応LOW-LEVELライブラリィ
SECS−IIシナリオ(Non-GEM)簡易に構築するためのパッケージソフトウエアで、液晶製造装置やウエハー製造工場向け装置の通信に適しています。
 
SECSIIのメッセージ単位の送受信を可能にします。故に通常のパッケージソフトウエアでは構築できない詳細なメッセージの操作を可能にします。
EES構築対応パッケージソフトウエア   HSMSモニター
装置からのデータを収集したりデータベースに蓄積するパッケージソフトウエアです。
 
半導体や液晶製造装置と工場のHOSTとの通信をメッセージをモニターすることができます。
HSMSテスター   CIMコンポーネント(開発予定)
半導体や液晶製造装置のHSMS通信をHOSTのシミュレータとしてテストすることが可能です。
 
液晶製造装置においてPLC設計者がHOSTが要求するHSMS通信ソフトウエアをプログラムレスで構築できるツールです。
お問い合わせ
GEM300対応パッケージソフトウエア
装置新規開発時に最適な機能をモジュール化
オブジェクト指向、機能モジュールの組合わせにより柔軟に対応
Windowsプラットフォーム対応、COMインタフェース(VC++、VBおよびVC#に対応)
対応スタンダードは以下のとおり
名 称 記 号
SECS-I E4
SECS-II E5
HSMS-SS E37
GEM E30
Carrier Management (CMS) E87
Object Management (OSS) E39
Process Management (PJM) E40
Control Job Management (CJM) E94
Carrier ID Reader/Writer (CIDRW) E99
Substrate Tracking (STS) E90
Equipment Performance Tracking (EPT) E116
▲PAGE TOP
GEM300対応パッケージソフトウエア
多様な装置構成に対応   パッケージソフトが動作するコントローラ(PC)と複数の装置制御コントローラと接続して制御
単一コントローラ(PC)で制御系まで含めて装置1台を制御
 
 
  • 定義データは外部とのインポート/エクスポート機能により、工数大幅削減が可能
  • ロギング、モニタ機能もご用意(HOST通信、E99、関数I/F)
 
     
使いやすい開発ツール   提供パッケージソフトとお客様作成アプリケーションの各種I/Fライブラリ関数を用意
標準データをもとにしたデータ定義により、エンドユーザ仕様の実装が、短納期- 低コストで作成可能
 
 
  • 定義データのインポート/エクスポート機能により、横展開における工数削減が可能
  • また、単一コントローラで複数のHOSTとの通信が可能
 
     
GEMスタンダードの進化にも対応   豊富な拡張性
  • GEMコンプライアンスに従った各機能をパッケージ化
  • アップグレードによるスタンダードの変更や、オプションパッケージによる機能追加も可能
 
 
  • プロジェクト単位での管理により、単一コントローラで複数の装置の制御が可能
  • また、単一コントローラで複数のHOSTとの通信が可能
 
     
開発ツールウィンドウ
▲PAGE TOP
EES構築対応パッケージソフトウエア
装置データロガー
装置からの詳細データを収集するパッケージソフトウェアです。

データベースサーバー
収集したデータを蓄積するパッケージソフトウェアです。
 
  • EES構築のためのプラットフォームパッケージです。SEMIスタンダード(EDA)およびSelete仕様(TDI)に対応します。

  • データの収集・蓄積を容易にセットアップできます。
    既設の上位システムにも接続可能です。

  • 上記の各パッケージは独立していますので、様々なシステム構成に柔軟に対応可能です。
     
システム構成図    
     
▲PAGE TOP
HSMSモニター
  • Ethernetを通過する送受信パケットをモニターします。

  • モニターする通信に影響を与えません。

  • メッセージは、SML表記と、HEX表記、その両方を選択可能です。

  • HSMSのコントロールメッセージも表示します。

  • TCP/IPの、接続及び切断要求を表示します。

  • 装置アプリケーションや、SECSIM Pro等シミュレータとの同居も可能です。

  • 同時に複数プロセスの起動が可能です、一台のPCで複数ポートを同時にモニターできます。

  • WindowsXP/2000で動作します。(Windows95/98/Me/NTでは動作しません)

この評価版は、ログをファイルに出力しません。
ダウンロード評価版のバージョンはV1.01ですが、現在の最新版はVer1.04です。
機能アップの内容についてはお問い合わせ下さい。
設定後は、メニューのキャプチャー開始か開始ボタンをクリックするとモニターを開始します。
モニターの対象となるホストと装置のIPアドレスとパッシィブ側のポート番号は正しく設定されてなければなりません。


WindowsXP/2000で動作確認しましたが、XPのServicePack2のファイアーウォールは、適切に設定する必要がありますが、モニター中のみ無効にする事でも可能です。Windows95/98/ME/NT では動作しません。
スイッチングHubではモニターできません。スイッチングHubの場合はミラーポートか、またはリピータHubに接続して下さい。
モニタープログラムは、どこともコネクトする必要が無いので。何時でもモニターを開始する事ができます。
一台のPC上で、複数プロセス起動可能です、同時に複数のポートをモニターできます。
希に、Promiscuousモードに対応してないメーカのLANカードが有ります。その場合は、キャプチャー開始時にエラーになると思われます。
VC++6.0のみで書かれています。ダウンロードファイルHsmsMon.exeをコピーするのみで動作します。
インストールは必要ありません。

▲PAGE TOP
HSMSテスター
SecsimPro等のシミュレータは、Select.ReqやLinktest.Req等のコントロールメッセージのテストができません。また、SECSメッセージの異常なフォーマットのテストも容易ではありません。メッセージは、自動的に送信されてリプライが返されるので、送受信タイミングをコントロールすることが難しくなります。
このテスターは、それらのテストシミュレータでは難しい、あるいはできないテスト機能を補完することが目的です。従って、メッセージシナリオテストの様な通常のホストシミュレータの機能は、SecsimProのご使用をお勧めします。
HSMSデスターは、基本的な操作をマニュアルで行うことが本来の目的ですが、オートでリプライの送信を行うことも可能です。
コントロールメッセージの送信と受信に対するリプライも、マニュアル操作で行うことで相手側のHSMSドライバーの機能をテストします。メッセージは、SMLフォーマットのテキストファイルにより定義します。

マニュアル操作では、テスト中Linktest.Req等に応答しないでタイムアウトするとリンクが切断されてしまいます。オートリプライのメニューからリプライをセットした場合には、オートでリプライまたはレスポンスメッセージを返す事ができます。

オートセンドメニューの設定によりActiveモードによる接続時に、オートでSelect.Reqを送信することや定周期で、Linktest.Reqを送信する事ができます。

通信メッセージ画面にSMLフォーマット、またはHEXフォーマットで入力することで正常なメッセージや、異常なメッセージを送信することができます。
(SMLで入力->HEX変換ボタンをクリック->修正する->送信する)
メッセージアイテム部分のHEX入力データは、そのまま送信されます。

SMLフォーマットで送信要求すると、異常なメッセージは送信できません。送信ボタンが押されると、SMLフォーマットからHSMSメッセージフォーマットに変換して送信します。

評価用のサンプルのSMLファイルが付属しています。お手持ちのテキストエディターにより、追加変更して、お試し下さい。

 
画面とプログラム本体は、VB6.0で作成しています。
基本的にレジストリーは使用していません。設定値は初期設定ファイルに保存します。
メッセージ変換の為に、下記のVC++6.0で作成したOCXを2個使用します。
この登録の為にのみレジストリーを使用します。
  1. HSMSメッセージフォーマットからプログラムの内部データ形式に変換します。
  2. プログラムの内部データ形式からHSMSメッセージフォーマットに変換します。
  1. SMLフォーマットのテキストからプログラムの内部データ形式に変換します。
  2. プログラムの内部データ形式からSMLフォーマットのテキストに変換します。
評価版は、ログデータをファイルに書きません。
ダウンロード後、Setup.exeによりインストールを行ってください。
不要になった場合は、コントロールパネルから、アプリケーションの削除を行ってください。
▲PAGE TOP
株式会社グッドコンピュータ
〒650-0034 
神戸市中央区京町77-1 神栄ビル4F
TEL:078-325-8603  FAX:078-325-8694
半導体/液晶 制御システム開発その他 制御系システム開発
ホームアプリケーション開発について会社概要採用情報サイトマップ
 copyright(c) good computer Corporation . all rights reserved.